设备简介：

陶瓷基板缺陷检测机主要用于检测陶瓷基板的外观缺陷，该检测机采用了高精度线扫相机，超高精度的检测则应用了高精度线扫激光轮廓仪对基板的表面进行3d扫描，并配套海泰专门针对瓷材基板开发的视觉算法对2D成像，3D点云和深度图进行深度分析，对基板表面的凹凸，划痕，破损，斑点等缺陷进行高效精准的检出，检出率和检出精度都达到了行业领先水准。

核心参数：

• 最大重复精度：3µ；

• 最大检测速度：200mm/s;

• 线长：6mm-500mm；

• 产能：N360PCS/H；

• 检测项目：凹坑/突起/污点/缺损/翘曲/划痕。

应用拓展：

覆铜陶瓷基板检测（指铜箔在高温下直接键合到陶瓷基片表面上的特殊工艺板）、

IGBT前段生产检测、SIC衬底检测。