设备简介：

陶瓷基板缺陷检测机主要用于检测陶瓷基板的外观缺陷，该检测机采用了高精度线扫相机，超高精度的检测则应用了高精度线扫激光轮廓仪对基板的表面进行3d扫描，并配套海泰专门针对瓷材基板开发的视觉算法对2D成像，3D点云和深度图进行深度分析，对基板表面的凹凸，划痕，破损，斑点等缺陷进行高效精准的检出，检出率和检出精度都达到了行业领先水准。

核心参数：

• 外观:可检测出口资片的門坑、凸点、瓷痕、缺损、斑点、气孔、开裂等缺陷;

• 瓷痕:可检测出瓷痕高度0.01mm-0.03mm的瓷片，个数要求I5cm²;

• 皱纹:可检测出皱纹高度在0.025mm-0.03mm的资片，个数要求1/5cm²;

• 毛利:可检测出飞刺高度在0.01nm-0.025mm的瓷片，个数要求1/5cm²:

• 痕迹:可检测出痕边长度在10mm，深度0.02mm的瓷片，个数要求1/5cm²:

• 气孔(针孔、麻点):可检测出气孔直径0.04mm-0.15mm的瓷片，个数要求 1/5cm²;

• 斑点:可检测出斑点直径0.12mm的瓷片，个数要求I/cm²长

• 缺损:可检测出缺损宽度0.7mm、深度在厚度/2的瓷片，个数要求1/cm²

应用拓展：

覆铜陶瓷基板检测（指铜箔在高温下直接键合到陶瓷基片表面上的特殊工艺板）、IGBT前段生产检测、SIC衬底检测。