设备简介：

电性能测试盘使用了一段时间后，会出现脏污，孔尺寸变形，损坏等情况，本设备用于对测试盘的清洗与缺陷检测。

设备参数：

 •  清洗检测对象：2种玻纤转盘+2种树脂转盘

 •  转盘最大检测孔径： ≤ 0.6mm

 •  转盘最大检测厚度：≤4mm

 •  持续运行速度： ≤10min/转盘

 •  设备功能：转盘供料、转盘超声波清洗、转盘烘干、转盘定位找正、空治具存储周转、孔的视觉检测、转盘回收。

 •  关于烘干功能，4种转盘的外表面均可烘干，但是2种树脂转盘是锁定在玻纤块上的，转盘和玻纤块的缝隙中由于毛细效应会残留有水无法烘干，此处需要作业员人工处理。

应用拓展：

该制备可以拓展应用到其它研磨后清洗工艺。